
การปฏิบัติงานกัดบ่าฉากประกอบไปด้วย:
- การกัดบ่าฉาก/ กัดปาดหน้า
- การกัดขอบข้าง
- การกัดบ่าฉากผนังเบี่ยงแบบบาง
การกัดบ่าฉาก/ กัดปาดหน้า



Initial letter of the deposition material.A B C D E G H I K L M N O P R S T U V Y Z ▲Back to Top | ||||||||||||||
| Material | Symbol | MP (°C) | S/D | g/cm3 | Temp.(°C) for Given Vap. Press. (Torr) | Evaporation Techniques | Sputter | Comments | ||||||
| 10-8 | 10-6 | 10-4 | E-Beam | Thermal Sources | ||||||||||
| Boat | Coil | Basket | Crucible | |||||||||||
| Aluminum | Al | 660 | — | 2.7 | 677 | 821 | 1,010 | Ex | — | — | W | TiB2-BN, ZrB2, BN | DC | Alloys W/Mo/Ta. Flash evap or use BN crucible. |
| Aluminum Antimonide | AlSb | 1,080 | — | 4.3 | — | — | — | — | — | — | — | — | RF | |
| Aluminum Arsenide | AlAs | 1,600 | — | 3.7 | — | — | ~ 1,300 | — | — | — | — | — | RF | |
| Aluminum Bromide | AlBr3 | 97 | — | 2.64 | — | — | ~ 50 | — | Mo | — | — | Gr | — | |
| Aluminum Carbide | Al4C3 | ~1,400 | D | 2.36 | — | — | ~ 800 | F | — | — | — | — | RF | n = 2.7 |
| Aluminum Fluoride | AlF3 | 1,291 | S | 2.88 | 410 | 490 | 700 | P | Mo, W, Ta | — | — | Gr | RF | |
| Aluminum Nitride | AlN | |||||||||||||
| มุมองศา | ระยะมุม | Sin | Cos | Tan | มุมองศา | ระยะมุม | Sin | Cos | Tan | |
| 0 | 0.00000 | 0.00000 | 1.00000 | 0.00000 | 46 | 0.80285 | 0.71934 | 0.69466 | 1.03553 | |
| 1 | 0.01745 | 0.01745 | 0.99985 | 0.01746 | 47 | 0.82030 | 0.73135 | 0.68200 | 1.07237 | |
| 2 | 0.03491 | 0.03490 | 0.99939 | 0.03492 | 48 | 0.83776 | 0.74314 | 0.66913 | 1.11061 | |
| 3 | 0.05236 | 0.05234 | 0.99863 | 0.05241 | 49 | 0.85521 | 0.75471 | 0.65606 | 1.15037 | |
| 4 | 0.06981 | 0.06976 | 0.99756 | 0.06993 | 50 | 0.87266 | 0.76604 | 0.64279 | 1.19175 | |
| 5 | 0.08727 | 0.08716 | 0.99619 | 0.08749 | 51 | 0.89012 | 0.77715 | 0.62932 | 1.23490 | |
| 6 | 0.10472 | 0.10453 | 0.99452 | 0.10510 | 52 | 0.90757 | 0.78801 | 0.61566 | 1.27994 | |
| 7 | 0.12217 | 0.12187 | 0.99255 | 0.12278 | 53 | 0.92502 | 0.79864 | 0.60182 | 1.32704 |